四位手套箱
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内部尺寸 |
1803 mm 宽 x 764 mm 深 x 897 mm 高 |
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外部尺寸 |
2595 mm 宽 x 1034 mm 深x 2024 mm 高 |
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内部材质 |
304不锈钢， #4抛光 |
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外部表面材质 |
RAL 7035 |
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材质厚度 |
0.105" (2.6 mm) |
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接线口 |
四个DN 40 ISO-KF blank |
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内部电源 |
一个电源引入 |
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内部电源插座 |
一个内部6位电源插座，带报险丝 |
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搁板 |
2个，高度可调，304 不锈钢 #4 抛光，54.1" (1374 mm) 宽 x 9.7" (247 mm) 深 |
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管路 |
304不锈钢管道 |
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过滤 |
进风口和排风口各一个高效过滤 HEPA (0.3 micron滤膜，过滤效率99.99%) |
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照明 |
外部荧光灯 |
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电源 |
100-120或200-240 V，50/60 Hz，20A |
非模块化箱体设计
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支架 |
带脚轮支架，高度可调 |
大传递舱， 15" (381 mm) 内径x 24" (609 mm) 内长
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门闩 |
可选左侧或右侧 |
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内表面材质 |
304不锈钢，#4抛光 |
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外表面材质 |
RAL 7035 |
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内部托盘 |
304不锈钢，#4抛光 |
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托盘尺寸 |
11.25" (285 mm) 宽x 22.5" (571 mm)长 |
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内外可移动距离 |
13.9" (353 mm) |
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电镀铝门，垂直开启 |
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手动排空/充气阀门 |
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模拟真空度计 |
0 ~ -30" Hg |
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泄漏率 |
< 10-5 mbar l/s |
小传递舱， 6" (152 mm) 内径 x 17.3" (441 mm) 内长
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内表面材质 |
6061电镀铝 |
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外表面材质 |
RAL 7035 |
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内外舱门 |
6061电镀铝 |
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手动排空/充气阀 |
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模拟真空度计 |
0 ~ -30" Hg |
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泄漏率 |
< 10-5 mbar l/s |
钢化玻璃观察窗， 3/8" (9.5 mm) 厚度
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观察窗尺寸 |
41.8" (1061 mm) 宽 x 30.2" (767 mm) 高 |
圆形手套接口
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聚甲醛树脂，8" 手套接口 |
0.015" (0.4 mm) 丁基橡胶手套，尺码9.75 |
气体处理系统
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单柱气体纯化系统 |
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<1 ppm O2 ， <1 ppm H2O |
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除氧能力 |
43 L |
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除水能力 |
1800 g |
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自动净化柱阀门 |
与风机互锁，如果阀门没有打开，风机无法开启 |
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定速循环风机 |
最大风速97 cfm |
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净化柱最大流速 |
30 cfm (50 m3/h) |
PLC控制系统
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黑板触摸屏 |
自动压力控制
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自动压力控制 |
(+/- 15 mbar) |
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手动压力控制 |
脚踏开关 |
全自动再生程序
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手动排气阀 |
真空泵
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真空泵 |
10 cfm (17 m3/h) 旋页泵，带油雾回收系统 |
内置氧气分析仪
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内置氧气分析仪 |
范围：0-1000 ppm |
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标配氧化锆探头 |
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可选配电子探头，可与溶剂通用 |
内置水份分析仪
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内置水份分析仪 |
范围： 0-1000 ppm |
整体泄漏率
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<0.05vol%/h (ISO 10648-2) |
手套箱气体要求
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供气 |
³ 99.995% N2 或 Ar |
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气压 |
55 psi (3.8 bar) |
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气体流速 |
250 l/min |
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再生气体 |
3-7% H2, balance N2 或 Ar |
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再生气体压力 |
5-7 psi (0.3-0.5 bar) |
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再生气体流速 |
30 l/min |
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含量分析仪 |
真空泵 |
静电控制器 |
自动排气阀 |
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接线口 |
显微镜 |
溶剂去除系统 |
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冷却系统 |
加热系统 |
小容量外接溶剂去除系统 |
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冷阱 |
薄膜沉积系统 |
手套 |
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